După cum știm cu toții, există un singur producător în lume care poate produce litografie EUV, acesta esteASML din Țările de Jos.
Motivul pentru care există un singur producător în lume este că ASML a legat mulți producători cheie, cum ar fi Zeiss (Zeiss), o companie germană de optică, Cymer (SUA) șiTRUMPF (Germania).
ASML i-a legat pe acești producători de carul său prin investiții, achiziții, acționarii, înființarea de centre de cercetare și așa mai departe, iar acești producători sunt probabil singurii producători din lume care pot produce aceste produse, așa că în cele din urmă doar ASML din lume poate produce litografie EUV.
Cu toate acestea, recent, un lanț de aprovizionare cheie al ASML, a fugit la Shenzhen, China pentru a construi o fabrică, filiala sa din Shenzhen stabilită în Parcul industrial demonstrativ Baoan chino-german (Europa).
Acest producător este Grupul TRUMPF din Germania (TRUMPF), este litografia EUV de la ASML, singurul furnizor de surse laser din lume.
Produsele TRUMPF în litografia EUV, cât de importantă? În primul rând, ascultă-mă să explic principiul litografiei EUV, vei înțelege.
Principiul litografiei EUV, pentru a spune simplu, este centrat pe trei sisteme majore, sistemul de sursă de lumină ultravioletă EUV, sistemul de oglindă obiectiv și sistemul de masă.
Procesul specific este de a folosi un laser pentru a excita o lungime de undă de 13,5 nm de lumină ultravioletă extremă, care este apoi corectată pentru a forma un fascicul de lumină controlat, care este apoi proiectat pe o masă fotomască înainte de a fi proiectat printr-o oglindă obiectiv pe o masă de expunere. și în final gravat într-un circuit pe o placă de siliciu acoperită cu fotorezist.
Cum se obține unul dintre sistemele de sursă de lumină UV EUV prin bombardarea unei picături de metal de staniu (Sn) cu un laser CO2 de 30 kW de putere, evaporarea acesteia într-o plasmă și, în final, obținerea luminii EUV la o lungime de undă de 13,5 nm.
Acest laser CO2 de 30 kW este furnizat de TRUMPF, singurul din lume.
Nu subestimați acest laser CO2, are 457.329 de părți, lungimea cablului în sistem este de până la 7.322 de metri, iar greutatea este de 17.090 kg, care este una dintre cele mai importante componente de bază din litografia EUV.
Acum, TRUMPF a fugit în China pentru a construi o fabrică, intenția este clară, adică optimist în ceea ce privește piața laserului chineză și, chiar și pe termen lung, optimist în ceea ce privește piața chineză de litografie, viitorul poate coopera cu China pentru a construi litografie EUV .
De fapt, există deja mai mult de un lanț de aprovizionare ASML care rulează în China pentru a construi o fabrică, există KMWE și alți producători, de asemenea, în China pentru a construi o fabrică.
În conformitate cu tendința actuală, ne putem aștepta cu optimism că nu poate fi mult înainte ca tehnologia litografiei Chinei să fie un mare pas înainte, și chiar și volumul de ieșire litografie EUV, poate aștepta, de asemenea, cu nerăbdare, credeți?
