Recently, the Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology of the Chinese Academy of Sciences has developed a high-performance MEMS fast-reflecting mirror with integrated angle sensors. The mirror has a large size, a small package volume, excellent performance, and great potential in laser satellite communications.
Oglinda cu reflectare rapidă a durat aproape cinci ani pentru a dezvolta . adoptă integrarea eterogenă cu două straturi și tehnologia de legare la nivel de wafer, iar volumul său este doar dimensiunea unei monede {1-} .
Acesta depășește blocajele tehnice ale oglinzilor tradiționale mecanice de reflecție rapidă și a oglinzilor originale MEMS reflectoare rapide, creând un produs de calitate spațială, cu o precizie de indicare a μRAD, care să îndeplinească indicatorii de performanță ultra-înaltă a aplicațiilor-satelit-borne .
Inspirată de ecranul telefonului mobil, echipa a folosit principiul tulpinii piezoresistive silicon pentru a integra senzorii cu unghi de cip, iar prin inovația structurală, sensibilitatea a fost crescută cu 63%, optimizând precizia controlului fasciculului .
Rezultatele testelor arată că, la o frecvență specifică, precizia unghiului îndeplinește standardul, iar deformarea maximă dinamică a suprafeței este de doar 2 nanometri .
Oficialul a făcut o analogie, care este echivalentă cu toate ascensiunile și coborâșurile de pe o oglindă, dimensiunea unui câmp de fotbal care nu depășește diametrul unui păr, îndeplinind cerințele stricte ale comunicațiilor cu laser prin satelit pe distanțe lungi pe suprafața oglinzii .
